Rapidus公布先进封装路线图:2030年实现600毫米面板与8倍光罩尺寸中介层

2026年08月22日 07:45 次阅读 稿源:cnBeta.COM 条评论

在2026年OCP亚太峰会上,日本半导体企业Rapidus正式公布了其先进封装路线图,宣布计划在2030年左右实现8个光刻掩模尺寸(Reticle)的中介层(Interposer)以及600×600毫米面板级处理技术。

这一战略规划由Rapidus设计解决方案首席技术官Rozalia Beica对外发布。据介绍,该公司的中介层尺寸将稳步扩张,计划从4个光罩尺寸(3320平方毫米)逐步过渡到6个光罩尺寸(4980平方毫米),并最终在2030年达到8个光罩尺寸(6640平方毫米)。其中,600×600毫米的面板规格是该路线图中的核心指标,因为面板级尺寸在良率方面具有极为显著的优势。Beica直观地对比了不同规格下的产能差异:同样是制造8个光罩尺寸的中介层,标准的300毫米晶圆仅能产出4颗,300×300毫米面板可产出9颗,510×515毫米面板可产出36颗,而采用600×600毫米面板的产出量则高达49颗。

与主要竞争对手台积电(TSMC)基于晶圆的尺寸缩放路线不同,Rapidus选择了大力押注面板级处理技术。台积电的CoWoS中介层路线图显示,其计划在2026年达到5.5个光罩尺寸,2027年达到9.5个,2028年达到14个。目前,Rapidus的600毫米面板战略已经全面启动。该公司不仅展示了该规格标准,还正在与泛林集团(Lam Research)的Kallisto电镀系统合作,在600毫米玻璃载板上开发带有重布线层的2.xD封装技术。此前在2025年底,Rapidus已成功生产出首个大尺寸玻璃中介层原型,并计划于2028年正式投入量产。

在芯片制造领域,Rapidus去年已利用ASML的EUV设备成功流片了2纳米GAA测试芯片,宣称其晶体管密度达到了237 MTr/mm²。根据其2026财年的规划,Rapidus的小芯片(Chiplet)解决方案试点线将全面投入运营,以验证2.xD和3D封装工艺。未来,Rapidus的完整封装产品组合将涵盖倒装芯片BGA、2.5D硅中介层、面板级RDL有机中介层、基于桥接和无桥接的解决方案,以及采用混合键合的3D堆叠技术。预计到2030年,该公司的系统将能够把2纳米以下的逻辑芯片、HBM、小芯片、光学互连以及面板级封装技术完美整合到一个统一的平台中。

为了支撑其在2027年实现2纳米芯片量产的宏大目标,Rapidus在今年2月完成了一轮总额达2676亿日元(约合17亿美元)的融资。该笔资金得到了日本政府的大力支持,并获得了包括佳能、富士通、索尼、NTT、软银、本田、铠侠、电装、丰田和IBM日本在内的众多私营巨头的共同注资。

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