SK Hynix要求SK Trichem赔偿原料中杂质导致DRAM生产线受损的损失

2023年02月21日 05:19 次阅读 稿源:cnBeta.COM 条评论

SK Hynix本月初在其一个DRAM生产厂遇到了问题,原因是生产中使用的锆高K材料中含有杂质。这些材料是由SK Trichem提供的,由于这些杂质,SK Hynix工厂的设备最终导致一些生产设备的运转压力增加,并迫使生产关闭。

最终评估后,SK Hynix认为由于材料中的杂质,工厂的所有设备都必须进行清洗,有些甚至被替换。

锆高K材料是在原子水平上沉积的,在DRAM的电容器上面,作为前体。这种材料中的任何杂质都会导致DRAM芯片失效,但据SK海力士称,尽管造成了损失,但在这种情况下暂时还没有对生产过程造成拖延。

该公司将暂时从其他两家供应商处订购替代材料,SK Trichem应该在本月底前会供应一批新材料。

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